X射线光电子能谱仪
仪器名称：X射线光电子能谱仪
仪器型号：AXIS SUPRA+
生产厂家：日本岛津有限公司
仪器简介：X射线光电子能谱仪主要用于固体表面和界面的化学信息，可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态，并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。XPS与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，可以用于固体表面元素成分及价态的面分布和深度剖析。XPS在各类功能薄膜的机理研究、纳米材料、电子材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、催化剂研究与失效分析等方面广泛应用。
出厂主要技术指标：
1、单色化X光源：加速电压15kV；最大功率和最大束斑下，单位面积上的X射线功率不大于0.4mW/μm2
2、AI单色XPS指标：大束斑能量分辨和灵敏度0.45eVe160kcps、0.5eV@650kcps、0.6eV@2.5Mcps；最小束斑(15～20μm)；最佳能量分辨和灵敏度：0.5eV@1.5kcps、0.6eV@6kcps；
3、单色化高能XPS指标：Ag单色X射线源；大束斑能量分辨0.9eV，大束班能量分辨和灵敏度5kcps；
4、Al/Mg非单色化X光源：水冷Al/Mg双阳极；功率不小于450W(15kV@30mA)；
5、Al/Mg非单色XPS指标：大束斑能量分辨和灵敏度0.8eV@800kcps；最小束班(015～20μm)最佳能量分辨和灵敏度1.0eV@10kcps；
6.选区XPS和平行成像XPS：选择性分析区域束斑大小：15μm至大束斑(200μm以上)；
6.2平行成像XPS空间分辨(锐利刀口样品，线扫描强度80%～20%的宽度):1μm。
送样要求：
1、样品可以为粉末样品、薄膜样品或块状样品。其中：粉末样品粒度要尽量细，50mg左右即可；薄膜及块状样品做好标记，说明测试面，块状样品尺寸小于5*5*2(mm)（高度不应超过2mm，最好控制在1mm以内）。
2、 尽量保持样品干燥，表面清洁无污染，对于大量放气，尤其是多孔粉状样品，进仪器前应先真空烘干，密封保存送样。
3、氢元素不能检测，不检测含单质硫、碘、氟、溴的样品。
4、禁止送有磁性、毒性以及放射性样品。
5、禁止送易挥发，在超高真空状态下大量放气的样品，尤其是具有腐蚀性气体的样品。
6、对于高分子、有机物等不耐轰击的样品请慎重测试
7、UPS测试样品必须新鲜、导电。